等离子电源产品
Integrated Systems
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Opti™ RF Power Rack

Opti RF 功率机架是专为采用高密度等离子体化学气相沉积（HDP/CVD）设备的 200 毫米半导体晶圆厂设计的现代化解决方案。该设备旨在实现高效率运行，并具备监测设备状态和优化工艺所需的智能功能。
我们可根据需求为其他 200 毫米设备提供定制化解决方案。
特点

  • 高性能电场发生器，满载功率下效率超过 70%

  • 实时 HMI 仪表盘和 PowerInsight

  • 内置安全功能，包括紧急停机开关、泄漏检测、烟雾检测和过流保护

  • 可在安全的晶圆厂网络内选配远程访问功能


益处

  • 借助先进的射频功率传输技术，实现更高的工艺稳定性和效率

  • 实时查看系统数据和历史数据（最长可达一小时），以及各发生器的温度图表和带时间戳的故障及警告记录

  • 在运营成本和设备停机时间方面实现显著的投资回报

  • 设计灵活，便于操作和维护

规格

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文档下载

Opti RF Power Rack Brochure.pdf点击下载