高压电源
静电吸盘
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Bipolar

Advanced Energy 的 Trek 静电吸盘（e-chuck）产品集成了多种卓越的控制参数，例如过流、晶圆检测和晶圆夹紧阈值，同时支持可调夹紧电压、偏置电压以及内部或外部直流偏置偏移控制。这些组件通过定制的夹紧和松开序列及波形，有效提升吞吐量和良率，从而优化半导体制造工艺。除了提高生产效率外，这些产品还能通过消除晶圆粘连和弹出问题、减少晶圆损伤、提高良率，从而解决长期存在的制造难题，确保半导体制造工艺更加可靠。
特点

  • 控制参数包括过流阈值、晶圆存在阈值、晶圆夹紧阈值、夹紧电压、偏置电压以及内部或外部幅值/偏置控制

  • 通过自定义的夹紧和松开序列及波形，提高效率和产量

  • 消除晶圆粘连/弹跳问题

益处
规格
文档下载

Trek 645 Data Sheet.pdf点击下载