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Ascent AMS II Pulsed and DC Power System

新型材料和阴极设计对工艺稳定性和薄膜重复性提出了越来越高的要求。与此同时，更大的沉积面积不仅提高了功率需求，还增加了潜在的电弧损伤风险。Ascent® AMS II 无论在何种工艺设置或条件下，都能提供稳定且可重复的功率输出。其电弧管理系统™（AMS）技术以及内置的物联网智能功能，可最大限度地提高生产效率和吞吐量。这种低噪音、水冷式设计具有更宽的工作范围，还能提升可靠性、工艺能力及安装灵活性。
特点

  • 水冷

  • 模块化且可扩展

  • 内置 Advanced Energy™ PowerInsight 物联网智能

  • 宽输入电压范围

  • 扩展的工作范围

  • 电弧管理系统™ (AMS) 技术——针对金属和陶瓷靶材的客户预设

  • Set Point Compensation™ 技术

  • Arc-Sync™ 技术——主/从设备最多可达 12 台

  • 以太网、EtherCAT®、Profibus、RS-232/485、Ethernet/IP 及模拟通信

益处

  • 卓越的薄膜质量与高产量

  • 减少薄膜、基板及设备的损伤

  • 稳定的产量与功率输出

  • 易于集成与控制

  • 快速扩展以实现高功率水平

规格

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