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Ascent AMS Pulsed and DC Power System

随着制造技术的进步，新型材料和阴极设计给工艺稳定性和薄膜重复性带来了更大的挑战。Ascent® AMS 电源可提供稳定、可重复的功率，无论工艺材料或阴极设计如何。AMS 具备先进的电弧管理功能，可在实现最大功率输出的同时，更快地恢复工艺。极快的恢复速度也意味着通过电弧输出的能量极低，从而防止基板受损。对于高功率应用，Ascent AMS 可采用主/副配置。常见应用包括输出功率超过 100 kW 的配置。然而，其水冷/风冷结合的设计将发电机的占地面积降至最低。
特点

  • 电弧管理系统™ (AMS) 技术——金属和陶瓷靶材的客户预设

  • 设定点补偿™ 技术

  • 电弧同步® 技术——主/从设备最多支持 12 台

  • 以太网、EtherCAT®、DeviceNet®、Profibus、RS-232/485、Ethernet/IP 及模拟通信

益处

  • 获得高品质薄膜和高效产量

  • 减少薄膜、基材和设备的损坏

  • 在极端电弧条件下实现稳定的产量和功率输出

  • 易于集成和控制

规格

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