等离子电源产品
脉冲和直流电源系统
产品图片

Ascent DMS Pulsed and DC Power System

Ascent® DMS 系列为双磁控溅射工艺提供了前所未有的供电便捷性和控制能力，可对薄膜特性进行精确调节。凭借可选频率、调节模式和占空比，以及低储能和简化的模块化系统配置，Ascent DMS 配件彰显了其作为真正新一代技术的独特优势。该系列产品经济高效、可扩展且用途广泛，能够简化工艺流程、提升产品质量并提高生产效率，从而推动先进工艺的创新。Ascent DMS MF-120 套件为标准阴极提供经济高效的中频电源，同时兼具双极脉冲技术的优势。
特点

  • 模块化且可扩展（40、60 和 120 kW 型号可配置至 180 kW）

  • 可选频率（500 Hz 至 50 kHz）

  • 可调占空比——每个磁控管均支持独立功率比调节

  • 通过分级电弧抑制方案实现先进的工艺管理

  • CEX（相位同步）

益处

  • 提升薄膜质量：可重复制备且可定制的沉积薄膜

  • 降低拥有成本并提高生产效率

  • 更高功率水平，稳定性更佳，电弧损伤更少

  • 易于扩展、集成和支持

  • 模块化设计让您只需为所需功能付费，同时为未来的功能扩展预留空间

规格

image.png

文档下载

Ascent® DMS Brochure.pdf点击下载