等离子电源产品
脉冲和直流电源系统
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PEII Low Frequency Power Supply

PEII 电源提供 40 kHz 脉宽调制 (PWM)。它具备先进的电弧控制和内部负载匹配功能，多台设备组合使用时输出功率可达 60 kW，且无需变压器或调谐器等外部硬件。该电源还配备两个独立的电弧处理电路，其浮地输出可在任一侧接地。
特点

  • 高功率密度

  • 宽调压范围

  • 功率、电压或电流调节

  • 增强的电弧控制

  • 自动工艺保护

  • 灵活的模块化设计

  • 高效紧凑的设计


益处

  • 双阴极及其他反应性溅射技术，用于制备节能型光学和玻璃涂层

  • 双阴极PECVD技术，可制备用于装饰膜、食品包装、电容器膜及其他薄膜的薄膜和塑料涂层

  • PECVD、类金刚石碳（DLC）、金属氧化物及碳涂层，可提供工具涂层和摩擦学涂层

规格

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