等离子电源产品
射频等离子体发生器
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Apex RF Generator

功能多样的 Apex® 射频发生器和供电系统系列采用紧凑的模块化设计，适合安装在反应腔内。凭借先进的射频转换技术，Apex 射频发生器和供电系统可显著提升产品和工艺的可靠性。其高密度供电能力使其成为先进等离子体工艺的理想选择。此外，多种通信模式和可配置功能让您能够定制平台并探索集成方案。无需等待定制发生器的交货周期。
特点

  • 流线型设计，高功率密度

  • 提供机载腔体安装、工具框架安装、机架安装及鞋盒式安装选项

  • 宽带控制回路

  • 可选脉冲控制

  • 高速电弧管理

益处

  • 轻松集成工艺设备，提升灵活性

  • 稳定等离子体运行

  • 通过快速电弧管理提高良率

  • 可根据工艺需求轻松定制和配置

规格

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