等离子电源产品
射频等离子体发生器
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Paramount RF Generator

通过聚焦操作灵活性，推动您的工艺开发进程。Paramount® HF射频发生器提供宽广的功率范围，支持多种集成方案，并配备标准串行/模拟接口及其他可选通信接口。Paramount HF能够提供高长宽比器件所需的高等离子体密度和离子能量，并加速下一代半导体加工设备的工艺进程。Paramount平台的数字架构可实现精准的功率管理，并简化新功能的集成——无需等待周期或硬件变更。通过实时检测等离子体变化，可实现高功率输出和可重复的性能表现。此外，内部保护限值确保了设备的可靠运行。
特点

  • 全数字控制

  • 频率调节、脉冲控制及脉冲同步

  • 实时功率与阻抗测量

  • 电弧管理

  • 相位同步（CEX）

益处

  • 提高等离子体稳定性和工艺重复性

  • 精确控制射频功率

  • 快速响应等离子体变化

  • 轻松适应特定应用需求

规格

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