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Navigator II

Navigator® II 配备微处理器控制的步进电机驱动系统和先进的调谐算法，可实现射频功率的优化。可选配的内置 Z’Scan® II 射频传感器可对工艺功率和阻抗进行实时分析，帮助您快速识别并显著降低工艺波动。此外，还可选配虚拟前面板软件，通过用户计算机进行监控和控制。

特点

采用增强型调谐算法的数字架构
脉冲射频功率传输
扫频工作模式
适用于多频应用的互调失真（IMD）抗干扰能力
实时工艺功率和阻抗测量

益处

加快响应时间的调整/匹配
加强工艺控制
有助于提高刀具吞吐量和产品良率

规格

文档下载

NAVIGATOR® II 数字匹配网络.pdf点击下载