MAXstream 300（≤ 3 L）适用于低流量应用，MAXstream 1200（≤ 12 L）适用于高流量应用
高度可靠的 RPS 可最大限度地提高设备运行时间
增强等离子体源壁的冷却效果，以减少热膨胀和化学侵蚀造成的损坏
对等离子体功率进行主动监测和控制，实现先进的功率控制
通过多种流量选项优化成本
占地面积小于 Xstream RPS，节省宝贵的设备空间
采用独特的 AE 双点火芯，点火可靠性极高
采用专有的 AE 腔室设计，延长腔室使用寿命
流量能力高达 12 SLPM，缩短清洗时间
MAXStream 1200 Datasheet.pdf点击下载