石英内衬使其非常适合光刻胶灰化或碳化室清洗工艺
可变频率匹配技术提供了一系列等离子体阻抗工作模式，通过调节气体成分、压力和功率设定点进行控制
改进的热管理有助于确保腔室使用寿命长久
由于动态压力过冲较小，快速氧化（Rapid OX）能迅速点火并达到稳态运行
通过可拆卸、可更换的石英腔体，显著减少停机时间和拥有成本
凭借高解离率和高密度自由基生成能力，提升工艺性能
借助变频调节和精确功率控制，确保工艺过程的可重复性和可控性
依托可靠的设计和冷却系统，延长腔体使用寿命并降低维护成本
提高设备利用率，减少预防性维护，并降低拥有成本
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