Plasma Power Products
power output system
产品图片

RF Delivery System eVerest™ and NavX™

作为一套完整的射频传输系统，eVerest射频发生器与NavX匹配网络在芯片几何尺寸趋近于埃级时，推动了工艺创新。
Features

  • ±10% 频率范围

  • Advanced Energy IoT 平台的 PowerInsight

  • 多级脉冲调谐

  • 加速内部信号处理

  • 频率调谐


Benefits

  • 对等离子体特性的全面掌控

  • 拓展了进入新型能量区间的可能性

  • 在脉冲和工艺转换过程中提高了功率稳定性

  • 实现了前所未有的射频功率运行间重复性

Specifications

image.png

Document Download

eVerest and NavX RF Delivery System.pdfClick to download