Robot applications
Product applications cover communications, batteries, automotive, industrial, home appliances, security, industrial control, lighting and consumer electronics and other fields.
AE 等离子功率传输、温度测量、温度控制和晶圆控制解决方案的精确性能和精密控制有助于提高可重复性和产量。我们提供各种射频、直流和脉冲直流电源输送系统以及各种匹配网络，以满足特定的工艺要求。
凭借先进的高精度等离子动力传输系统，Advanced Energy 站在蚀刻应用技术的最前沿。我们的解决方案利用尖端创新技术，为蚀刻工艺全程提供精确的功率传输和控制。
随着行业向越来越小的节点发展，AE 为电子束检测提供了先进的高分辨率解决方案。
随着芯片设计日趋复杂，对精确控制离子注入的要求也越来越高。AE 功率产品的设计专注于优化效率和功率密度，确保精确控制离子能量。
与大多数设备一样，射频发生器也需要进行校准，才能保持精确度，使精确度符合通用路径（可追溯性），并确保设备定期正常运行。Advanced Energy 提供射频功率计，用于对该工具所在现场的发生器进行精确校准。
在半导体制造中，剥离步骤的作用是去除残留的光刻胶。在等离子蚀刻过程中，精确控制功率对于确保完美剥离晶圆表面、杜绝任何潜在缺陷至关重要。