蚀刻

通过全面的解决方案组合加强工艺控制

AE 的等离子电源可根据每个蚀刻应用的独特需求进行定制。我们的产品组合包括射频、直流和脉冲直流产品；阻抗匹配网络；远程等离子源以及先进的数据收集、可视化和分析平台。这些解决方案采用尖端技术，能够确保精确可重复的功率传输，从而实现卓越的制程精度和产量。