电子束检测

用于精确电子束检测的精密功率控制

在需要高灵敏度的逻辑和存储器制造工艺中，电子束系统可提供优于其他技术的分辨率。AE 解决方案具有精确、可靠的性能，可确保检测到其他系统可能会忽略的缺陷。