一台射频功率计（传感器与仪表一体化设计）最多可配置六种频率
在整个功率范围内，功率测量精度为±0.5% + 0.5 W
频率范围为 0.2 至 200 MHz，功率范围为 5 kW
支持自动或手动测量模式
具备元数据标记和数据存储功能，适用于长期监测
可通过触摸屏、HDMI、USB-C 或 LAN 进行本地及远程监控访问
提供仪表盘和警报功能，支持可视化及预测性分析
支持将数据导出为 CSV 文件
配备四个带锁定功能的万向轮的移动推车
优化关键半导体工艺的射频功率传输
单个传感器内可配置多达 6 个频率，从而降低投资成本（涵盖 400 kHz、2 MHz、13.56 MHz、27 MHz、40 MHz、60 MHz 等）
传感器每年校准一次——维护简便，运营成本更低
平台无关性——可测量非AE电源产品的射频功率
传感器易于接触，便于校准和维护
独特的数据采集功能，可追踪趋势，减少设备停机时间和运营成本
便携式设计，便于在晶圆厂内移动
可根据要求提供定制化服务
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