降低运营和安装成本
实现快速电弧响应
配置电弧响应
最大化工艺效率
精确控制您的工艺
低储能——每1 kW输出功率对应少于1 mJ的储能
无需切换档位
输出重复性为±0.1%
靶材预热循环(TCC)——最大限度缩短新靶材的预热时间
焦耳模式——优化能量传输
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