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Pinnacle III Plus+ Pulsed DC Power Supply

Pinnacle Plus+ 电源采用脉冲供电模式，可实现极具均匀性、高品质的介电薄膜的反应性溅射。
反向脉冲期间的电荷清除可防止电弧产生
通过频率和占空比控制实现工艺可调
紧凑型风冷设计，支持主/卫星配置扩展

Features

可调频率范围为 5 至 350 kHz
可变占空比最高达 45%
宽电压范围——单抽头宽阻抗范围
卓越的电弧管理
提供双输出，适用于多腔室生产

Benefits

更高的沉积速率和产率
更优异的薄膜均匀性和质量
减少电弧引起的基板损伤
出色的工艺灵活性和自由度
可重复的性能

Specifications

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