Plasma Power Products
Pulse and DC Power Systems
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Solvix® DC and Pulsed Power Supply

Solvix 直流和脉冲直流电源专为金属及反应性溅射工艺设计，不仅具备精准的控制能力，更拥有久经考验的可靠性——并得到 AE 全球支持网络的全力保障。该系列产品提供广泛的功率和频率范围、多种脉冲模式以及丰富的通信选项，为您的独特工艺提供坚固耐用且经济高效的解决方案。
Features

  • 业界领先的电弧控制能力

  • 直流和脉冲直流电源

  • 电流、功率和电压调节模式

  • 灵活的架构

  • 风冷

  • 可配置多台设备以满足大功率需求

  • 高峰峰值电压（高频型号）

  • 获得专利的无抽头宽输出负载阻抗范围（中频型号）

Benefits

  • 可靠性、准确性和重复性经实践验证

  • 全球支持网络

  • 减少基板损伤和工艺污染

  • 适应各种工艺要求

  • 高吞吐量

Specifications

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