Plasma Power Products
RF plasma generator
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Paramount Plus RF Generator

体验脉冲射频产品中最全面的功能集。Paramount Plus 提供精准的射频调节、精密的脉冲控制以及先进的数据采集功能。该设备专为覆盖广泛的射频能量范围而设计——频率范围为 1 至 60 MHz，功率范围为 1.5 至 15 kW——Paramount Plus 能够满足您对重复性和可靠性的要求。
Features

  • 通过严格调节输出功率来增强射频稳定性

  • 先进的多级脉冲技术

  • 脉冲同步与监测

  • 实时功率和阻抗测量

  • 先进的FastDAQ数据采集系统

Benefits

  • 精确控制射频

  • 提高等离子体稳定性

  • 加速等离子体状态转换

  • 缩短工艺时间

  • 提高工艺重复性和腔室匹配度

Specifications

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