Plasma Power Products
RF plasma generator
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eVerest® RF Generator

随着半导体行业加速迈向新的转折点，eVerest® 射频发生器满足了变革性等离子体控制的需求。其可配置的多级脉冲功能可实现瞬时或用户自定义的过渡时序。此外，基于模型的高速、高精度频率调谐技术配合宽广的频率扫描范围，可提供更优的工艺稳定性和控制能力。这些功能，加上更快的设定点响应、脉冲状态初始阶段的受控过冲，以及由 Advanced Energy™ 提供的先进 PowerInsight™ IoT 智能技术，共同为下一代工艺节点的创新提供强大支持。
Features

  • 完整的射频传输系统、多种匹配方案选项以及智能同步功能

  • 可在可编程多级脉冲波形中实现速度与控制

  • 高速射频输出响应及脉冲状态上升/下降时间

  • 频率调谐范围高达 ±10%

  • 内置 dP/dZ 稳定性

  • Advanced Energy™ 的 PowerInsight IoT 生态系统

Benefits

  • 支持开发小于 2 纳米的沉积和刻蚀工艺

  • 提供可靠的点火性能，且射频稳定性不受电缆长度影响

  • 可无缝集成到任何等离子体系统中

  • 扩大工艺空间并拓宽稳定性窗口

  • 由各地服务中心提供全球范围的产品和应用支持

Specifications

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