先进的可选调谐功能支持针对单脉冲或多脉冲状态进行阻抗匹配。
与 eVerest 射频发生器直接同步，可加快调谐速度，并消除因单独的匹配通信而产生的延迟。
处理过程中的硬件和算法调谐：AE 专有的 Velocity Tuning 算法支持以脉冲步进方式进行超快速调谐。
NavX + eVerest射频传输系统的±10%频率范围，可实现更快的调谐速度并覆盖更宽的阻抗范围。
改进的传感器校准功能最大限度地减少了设备间的偏差，从而提高了重复性。
提高了重复性、良率和吞吐量
精确控制等离子体特性
增强了工艺参数的定制能力
优化了快速脉冲序列中的控制响应速度
通过可扩展的脉冲状态，拓展了新的能量范围
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