高度可靠的RPS最大限度地延长了设备运行时间
将活性粒子有效输送至工艺腔室，从而提升性能
配备集成主动匹配网络（AMN）的变压器耦合等离子体（TCP）源
工作频率为225 kHz至660 kHz
8 kW/10 kW功率型号
采用定制铝合金和III型硬质阳极氧化处理，省去昂贵的腔室涂层
通过能最大限度降低热应力的冷却系统，提升腔室性能和耐用性
借助有源匹配网络，提高效率并优化向等离子体的功率传输
依托实时等离子体测量技术，精确控制功率和工艺
通过专利点火系统，实现可靠且可重复的等离子体点火
采用主动匹配网络的XSTREAM远程等离子体源.pdfClick to download